ACTIVE MATRIX SUBSTRATE AND METHOD FOR MANUFACTURING ACTIVE MATRIX SUBSTRATE

• Main Authors: YAMANAKA MASAKI, HOTTA KAZUSHIGE, MAKITA NAOKI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 20.09.2012
• Subjects: ADVERTISING; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CRYPTOGRAPHY; DEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH ISMODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THEDEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY,COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g.SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; DISPLAY; DISPLAYING; EDUCATION; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; FREQUENCY-CHANGING; LABELS OR NAME-PLATES; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICS; PHYSICS; SEALS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SIGNS; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF

This active matrix substrate is provided with: a semiconductor layer (114); an insulating layer (116) that is formed on the semiconductor layer (114); an auxiliary capacitor electrode (145) that is formed on the insulating layer (116); a first interlayer insulating layer (118) that is formed on the auxiliary capacitor electrode (145); a recessed portion (160) that is formed in the first interlayer insulating layer (118) above the auxiliary capacitor electrode (145); an auxiliary capacitor upper electrode (149) that is formed on the bottom surface of the recessed portion (160); a second interlayer insulating layer (119) that is formed on the auxiliary capacitor upper electrode (149); and a pixel electrode (120) that is formed on the second interlayer insulating layer (119). Consequently, an auxiliary capacitor can have a larger capacity and a smaller size, so that a high-quality and high-precision display can be provided. Le substrat de matrice active selon l'invention comprend : une couche semi-conductrice (114) ; une couche isolante (116) qui est formée sur la couche semi-conductrice (114) ; une électrode de condensateur auxiliaire (145) qui est formée sur la couche isolante (116) ; une première couche isolante intercalaire (118) qui est formée sur l'électrode de condensateur auxiliaire (145) ; une partie évidée (160) qui est formée dans la première couche isolante intercalaire (118) au-dessus de l'électrode de condensateur auxiliaire (145) ; une électrode supérieure de condensateur auxiliaire (149) qui est formée sur la surface inférieure de la partie évidée (160) ; une deuxième couche isolante intercalaire (119) qui est formée sur l'électrode supérieure de condensateur auxiliaire (149) ; et une électrode de pixel (120) qui est formée sur la deuxième couche isolante intercalaire (119). Par conséquent, un condensateur auxiliaire peut avoir une plus grande capacité ou une plus petite taille, ce qui permet de fournir un affichage de grande qualité ou de haute précision.