CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, AND IMAGE ANALYSIS DEVICE

• Main Authors: KOMURO OSAMU, SHIRAI MASUMI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 26.07.2012
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL; PHYSICS

In order to enable an SEM image to be used to easily and accurately identify the cause when faults are generated in an SEM image due to the effects of vibrations, a magnetic field, or similar, inside or from the outside of a scanning electron microscope, and also in order to provide a measurement method in which the measurement accuracy is not influenced by the pattern roughness of the SEM image: when acquiring an SEM image, by making the scanning gain in the Y direction zero, one dimensional scanning is carried out in the scanning line direction (X direction), and by chronologically arranging, in the Y direction, the image information acquired by means of the scan, a two-dimensional image is formed. The displacement data of the two-dimensional image is acquired by means of a correlation function, and the magnetic field or vibrations, etcetera, included in the image can be measured by carrying out a frequency analysis of the data. Selon l'invention, afin de pouvoir utiliser une image de MEB pour identifier facilement et précisément la cause lorsque des défauts apparaissent dans une image de MEB en raison des effets de vibrations, d'un champ magnétique ou autre, à l'intérieur ou à l'extérieur du microscope électronique à balayage, et afin de fournir également un procédé de mesure dans lequel la grossièreté du motif de l'image de MEB n'a pas d'incidence sur la précision de la mesure: lors de l'acquisition de l'image de MEB, en mettant le gain de balayage dans la direction Y à zéro, un balayage unidimensionnel est effectué dans la direction de la ligne de balayage (direction X) et en disposant chronologiquement, dans la direction Y, les informations d'image obtenues dans le balayage, une image bidimensionnelle est formée. Les données de déplacement de l'image bidimensionnelle sont obtenues à l'aide d'une fonction de corrélation et le champ magnétique, les vibrations, etc. qui sont présents dans l'image peuvent être mesurés en effectuant une analyse fréquentielle des données.