OBJECT TO BE TREATED INTRODUCTION DEVICE

An object to be treated introduction device for introducing an object to be treated in an air-tight state from the outside to the inside of a treatment device (F1) which treats the object to be treated in the air-tight state is provided with: an object to be treated storage unit (11) having an opena...

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Main Authors OCHI, YOSHIFUMI, NAKAMURA, TAKAYA, OIKAWA, SHIGERU, KAWAI, MITSUO, HANEDA, NORIYUKI, KOUKETSU, AKIRA, YADA, TAKASHI, MIYATA, HIDETAKA, NAKANO, KATSUHIKO
Format Patent
LanguageEnglish
French
Japanese
Published 16.02.2012
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Summary:An object to be treated introduction device for introducing an object to be treated in an air-tight state from the outside to the inside of a treatment device (F1) which treats the object to be treated in the air-tight state is provided with: an object to be treated storage unit (11) having an openable and closable storage port (111c) which is capable of temporarily storing the object to be treated and which is used when the object to be treated is stored; an object to be treated passageway (12) through which the object to be treated which is introduced to the inside of the treatment device (F1) can pass in the air-tight state; and a conveying unit (1b) having an object to be treated removal mechanism (13) capable of removing the object to be treated in the air-tight state from the object to be treated storage unit (11) to the object to be treated passageway (12). The conveying unit (1b) is provided with: a closed section (14) capable of air-tightly blocking between the treatment device side and object to be treated storage unit side of the conveying unit (1b); and a joint section (15) capable of separating and joining the conveying unit (1b) at a position closer to the object to be treated storage unit side than the closed section (14) of the conveying unit (1b). L'invention concerne un dispositif d'introduction d'un objet à traiter permettant d'introduire un objet à traiter dans un état étanche à l'air de l'extérieur vers l'intérieur d'un dispositif de traitement (F1) qui traite l'objet à traiter dans l'état étanche à l'air, comprenant : une unité de stockage d'objet à traiter (11) comportant un orifice de stockage pouvant être ouvert et fermé (111c) qui permet de stocker temporairement l'objet à traiter et qui est utilisé lorsque l'objet à traiter est stocké ; une voie de passage d'objet à traiter (12) à travers laquelle l'objet à traiter qui est introduit vers l'intérieur du dispositif de traitement (F1) peut passer dans l'état étanche à l'air ; et une unité de transport (1b) comportant un mécanisme de retrait d'objet à traiter (13) permettant de retirer l'objet à traiter dans l'état étanche à l'air de l'unité de stockage d'objet à traiter (11) vers la voie de passage d'objet à traiter (12). L'unité de transport (1b) comprend : une section fermée (14) offrant une étanchéité à l'air entre le côté dispositif de traitement et le côté unité de stockage d'objet à traiter de l'unité de transport (1b) ; et une section de raccord (15) permettant de séparer et de joindre l'unité de transport (1b) à une position plus rapprochée du côté unité de stockage d'objet à traiter que la section fermée (14) de l'unité de transport (1b).
Bibliography:Application Number: WO2011JP67774