DISK-TYPE MEMS VIBRATOR

• Main Authors: SAITO TAKEFUMI, KIMURA NORITOSHI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 16.02.2012
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

In order to reduce variation in resonance frequency caused by variation in the precision of dimensions for a supporting structure of a vibrator, the present invention provides an electrostatic drive-type disk-type MEMS vibrator comprising: a disk-type vibrator body (1); a pair of drive electrodes (2, 2) at a prescribed gap (g) from the peripheral section of the disk-type vibrator and arranged on both sides of the vibrator body (1) so as to face each other; a means (2a) for applying alternating current bias voltages of the same phase to the drive electrodes (2, 2); and detection means (3, 3a) that obtain outputs corresponding to the capacitance between the disk-type vibrator body (1) and the drive electrodes (2, 2); and characterized by the disk-type vibrator body (1) therein being supported by a columnar supporting structure (1a) disposed perpendicularly in the center of the disk and the cross-sectional shape of the supporting structure (1a) being non-circular. Selon l'invention, les irrégularités de fréquence de résonnance dues aux irrégularités de précision de dimension d'une structure de support de corps oscillant, sont diminuées, et les pertes d'énergie par fuites provenant de la structure de support, sont diminuées autant que possible. Plus précisément, l'invention concerne un oscillateur à microsystème électromécanique de type à disque à entraînement électrostatique qui est équipé : d'un corps oscillant de type à disque (1); d'électrodes d'entraînement (2, 2) qui présentent un espace prédéfini (g) par rapport à une partie périphérique externe dudit corps oscillant type à disque des deux côtés de ce dernier, et qui sont disposées de manière à se faire mutuellement face; d'un moyen (2a) d'application d'une tension de polarisation de courant alternatif en phase sur lesdites électrodes d'entraînement (2, 2); et de moyens (3, 3a) de détection destinés à obtenir une puissance de sortie correspondant à la capacité électrostatique entre ledit corps oscillant type à disque (1) et lesdites électrodes d'entraînement (2, 2). L'oscillateur à microsystème électromécanique de type à disque est caractéristique en ce que ledit corps oscillant type à disque (1) est supporté par une structure de support (1a) en forme de colonne agencée verticalement au centre dudit disque, et la section transversale de ladite structure de support (1a) n'est pas circulaire.