A SPLICING TECHNIQUE FOR FIXED ABRASIVES USED IN CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION

• Main Author: GAGLIARDI, JOHN J
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 05.04.2012
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

An abrasive article includes a support pad, a first abrasive element, a second abrasive element and a fixation mechanism. The support pad has a first major surface, a second major surface, a first edge, a second edge and a channel. The channel is formed within the first major surface and extends from the first edge to the second edge. The first and second abrasive elements are each positionable over a portion of the support pad. The fixation mechanism is positioned within the channel ad secures an edge of the first abrasive element and an edge of the second abrasive element to the support pad. Un article abrasif inclut un patin de support, un premier élément abrasif, un second élément abrasif et un mécanisme de fixation. Le patin de support est pourvu d'une première surface principale, d'une seconde surface principale, d'un premier bord, d'un second bord et d'un canal. Le canal est formé à l'intérieur de la première surface principale et s'étend depuis le premier bord jusqu'au second bord. Les premier et second éléments abrasifs peuvent être chacun placés sur une portion du patin de support. Le mécanisme de fixation est placé à l'intérieur du canal et fixe un bord du premier élément abrasif ainsi qu'un bord du second élément abrasif sur le patin de support.