DISK-BRUSH CLEANER MODULE WITH FLUID JET

• Main Authors: BLANK, ADRIAN, ALONZO, GERALDO J, CHEN, HUI, KO, SEN-HOU, KARUPPIAH, LAKSHMANAN, SILVETTI, MARIO D, CHEN, YUFEI, D'AMBRA, ALLEN L
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 10.11.2011
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Embodiments of the present invention relates to an apparatus and method for cleaning a substrate using a disk brush. One embodiment provides a substrate cleaner comprising a substrate chuck disposed in the processing volume, and a brush assembly disposed in the processing volume, wherein the brush assembly comprises a disk brush movably disposed opposing the substrate chuck, and a processing surface of the disk brush contacts a surface of the substrate on the substrate chuck. La présente invention porte sur un appareil et un procédé de nettoyage. Des modes de réalisation de la présente invention se rapportent à un appareil et un procédé pour nettoyer un substrat à l'aide d'une brosse disque. Un mode de réalisation concerne un dispositif de nettoyage de substrat comprenant un mandrin de substrat disposé dans le volume de traitement et un ensemble brosse disposé dans le volume de traitement, l'ensemble brosse comprenant une brosse disque disposée de façon mobile face au mandrin de substrat, et une surface de traitement de la brosse disque entre en contact avec une surface du substrat porté par le mandrin de substrat.