MICROMACHINED PIEZOELECTRIC X-AXIS GYROSCOPE

• Main Authors: STEPHANOU, PHILIP, JASON, GANAPATHI, SRINIVASAN, KODAGANALLUR, SHENOY, RAVINDRA, VAMAN, ACAR, CENK, BLACK, JUSTIN, PHELPS, PETERSEN, KURT, EDWARD
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 03.11.2011
• Subjects: ELECTRICITY; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT; MEASURING; MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK; NAVIGATION; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY; PHYSICS; SURVEYING; TESTING

This disclosure provides systems, methods and apparatus, including computer programs encoded on computer storage media, for making and using gyroscopes. Some gyroscopes include a drive frame, a central anchor and a plurality of drive beams disposed on opposing sides of the central anchor. The drive beams may connect the drive frame to the central anchor. The drive beams may include a piezoelectric layer and may be configured to cause the drive frame to oscillate torsionally in a plane of the drive beams. The gyroscope may also include a proof mass and a plurality of piezoelectric sense beams. At least some components may be formed from plated metal. The drive frame may be disposed within the proof mass. The drive beams may constrain the drive frame to rotate substantially in the plane of the drive beams. Such devices may be included in a mobile device, such as a mobile display device. L'invention porte sur des systèmes, sur des procédés et sur un appareil, y compris des programmes informatiques codés sur des supports de stockage informatiques, pour fabriquer et utiliser des gyroscopes. Certains gyroscopes comprennent un cadre d'entraînement, un élément d'ancrage central et une pluralité de poutres d'entraînement disposées sur des côtés opposés de l'élément d'ancrage central. Les poutres d'entraînement peuvent relier le cadre d'entraînement à l'élément d'ancrage central. Les poutres d'entraînement peuvent comprendre une couche piézoélectrique et peuvent être configurées de façon à provoquer l'oscillation de torsion du cadre d'entraînement dans un plan des poutres d'entraînement. Le gyroscope peut également comprendre une masse d'épreuve et une pluralité de poutres de détection piézoélectriques. Au moins certains composants peuvent être formés en métal plaqué. Le cadre d'entraînement peut être disposé à l'intérieur de la masse d'épreuve. Les poutres d'entraînement peuvent contraindre le cadre d'entraînement à tourner sensiblement dans le plan des poutres d'entraînement. De tels dispositifs peuvent être inclus dans un dispositif mobile, tel qu'un dispositif d'affichage mobile.