MICROMACHINED PIEZOELECTRIC THREE-AXIS GYROSCOPE AND STACKED LATERAL OVERLAP TRANSDUCER (SLOT) BASED THREE-AXIS ACCELEROMETER

• Main Authors: STEPHANOU, PHILIP, JASON, GANAPATHI, SRINIVASAN, KODAGANALLUR, BURNS, DAVID, WILLIAM, SHENOY, RAVINDRA, VAMAN, ACAR, CENK, BLACK, JUSTIN, PHELPS, PETERSEN, KURT, EDWARD
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 03.11.2011
• Subjects: ELECTRICITY; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT; MEASURING; MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK; NAVIGATION; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY; PHYSICS; SURVEYING; TESTING

This disclosure provides systems, methods and apparatus, including computer programs encoded on computer storage media, for making and using x-axis gyroscopes, y-axis gyroscopes, z-axis gyroscopes, two-axis accelerometers and three-axis accelerometers. Combining fabrication processes for such devices can enable the monolithic integration of six inertial sensing axes on a single substrate, such as a single glass substrate. Such devices may be included in a mobile device, such as a mobile display device. La présente invention concerne des systèmes, procédés et un appareil, comprenant des programmes informatiques codés sur un support de stockage informatique, pour fabriquer et utiliser des gyroscopes à axe x, des gyroscopes à axe y, des gyroscopes à axe z, des accéléromètres à deux axes et des accéléromètres à trois axes. La combinaison des procédés de fabrication de tels dispositifs peut permettre l'intégration d'un seul bloc de six axes de détection d'inertie sur un seul substrat, tel qu'un substrat en verre unique. De tels dispositifs peuvent être compris dans un dispositif mobile, tel qu'un dispositif mobile d'affichage.