COMBINATION LASER AND CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM

• Main Authors: UTLAUT, MARK W, STRAW, MARCUS, PARKER, N. WILLIAM
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 13.10.2011
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

A combined laser and charged particle beam system. A pulsed laser enables milling of a sample at material removal rates several orders of magnitude larger than possible for a focused ion beam. In some embodiments, a scanning electron microscope enables high resolution imaging of the sample during laser processing. In some embodiments, a focused ion beam enables more precise milling of the sample. A method and structure for deactivating the imaging detectors during laser milling enables the removal of imaging artifacts arising from saturation of the detector due to a plasma plume generated by the laser beam. In some embodiments, two types of detectors are employed: type-1 detectors provide high gain imaging during scanning of the sample with an electron or ion beam, while type-2 detectors enable lower gain imaging and endpoint detection during laser milling. La présente invention concerne une combinaison d'un laser et d'un système à faisceau de particules chargées. Un laser à impulsions permet le fraisage d'un échantillon à des débits d'enlèvement de matière supérieurs de plusieurs ordres de grandeur à ce qui est possible avec un faisceau d'ions focalisé. Selon certains modes de réalisation, un microscope électronique à balayage assure une imagerie à haute résolution de l'échantillon lors d'un traitement au laser. Selon certains modes de réalisation, un faisceau d'ions focalisé permet un fraisage plus précis de l'échantillon. Un procédé et une structure conçus pour désactiver les détecteurs d'images lors du fraisage au laser garantissent la suppression des artefacts d'imagerie résultant d'une saturation du détecteur en raison d'un panache de plasma produit par le faisceau laser. Selon certains modes de réalisation, deux types de détecteurs sont utilisés : des détecteurs de type 1 assurent une imagerie à gain élevé pendant le balayage de l'échantillon par un faisceau électronique ou ionique, alors que des détecteurs de type 2 permettent une imagerie à gain plus faible ainsi qu'une détection de point de virage au cours du fraisage au laser.