NEGATIVE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, INTERLAYER INSULATING FILM AND METHOD OF FORMATION OF SAME

• Main Authors: KOBAYASHI YUUJI, MASUDA KATSUYUKI, FUKUYAMA TAKEHIRO, YASU KATSUHIKO, HIRATA TOMOHIRO, NINOMIYA SATOSHI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 01.09.2011
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMISTRY; CINEMATOGRAPHY; COMPOSITIONS BASED THEREON; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVINGCARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS; MATERIALS THEREFOR; METALLURGY; ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP

Disclosed is a negative photosensitive resin composition comprised of (A) an annual olefin resin containing repeating units represented by a general formula (1) (where R1, R2, R3 and R4 each represent an independent substituent group chosen from: a hydrogen atom, an alkyl group having 1-15 carbon atoms, an alkenyl group with 2-20 carbon atoms, a cycloalkyl group with 5-15 carbon atoms, an aryl group with 6-20 carbon atoms or an alkoxy group with 1-20 carbon atoms; or a hydrolysable silyl group, an alkoxycarbonyl group with 2-20 carbon atoms, a trialkylsiloxy carbonyl group with 4-20 carbon atoms, an alkyl carbonyl oxy group with 2-20 carbon atoms, an alkenyl carbonyl oxy group with 3-20 carbon atoms and an oxetanyl group; attached directly or via and jointly with an oxygen atom, a nitrogen atom or a sulphur atom), (B) a polyfunctional acrylic monomer and (C) a photoinitiator. L'invention concerne une composition de résine photosensible négative constituée de : (A) une résine oléfinique cyclique contenant des motifs répétés représentés par la formule générale (1) (dans laquelle R1, R2, R3 et R4 représentent chacun un groupe substituant indépendant choisi dans le groupe comprenant un atome d'hydrogène, un groupe alkyle doté de 1 à 15 atomes de carbone, un groupe alcényle doté de 2 à 20 atomes de carbone, un groupe cycloalkyle doté de 5 à 15 atomes de carbone, un groupe aryle doté de 6 à 20 atomes de carbone ou un groupe alcoxy doté de 1 à 20 atomes de carbone; ou un groupe silyle hydrolysable, un groupe alcoxycarbonyle doté de 2 à 20 atomes de carbone, un groupe carbonyle trialkylsiloxy doté de 4 à 20 atomes de carbone, un groupe alkyle carbonyloxy doté de 2 à 20 atomes de carbone, un groupe alcényle carbonyloxy doté de 3 à 20 atomes de carbone et un groupe oxétanyle, qui sont fixés directement ou par l'intermédiaire de l'atome d'oxygène, d'azote ou de soufre auquel ils sont liés); (B) un monomère acrylique polyfonctionnel et (C) un photoinitiateur.