SHOWERHEAD ASSEMBLY WITH IMPROVED IMPACT PROTECTION

• Main Authors: PALAGASHVILI, DAVID, ERENSTEIN, ALEX, WILLWERTH, MICHAEL D
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 26.05.2011
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Showerhead assemblies with improved impact protection are provided herein. In some embodiments, a showerhead assembly includes a body having a plenum disposed therein, the body having a plurality of first holes extending from the plenum to a substrate facing surface of the body; a plate disposed on the substrate facing surface of the body and having a plurality of second holes formed therethrough, each second hole corresponding with a respective first hole of the body; and a lip extending from the body and circumscribing the plate, the lip extending beyond a chamber facing surface of the plate. In some embodiments, the showerhead assembly is disposed in the inner volume of a process chamber. L'invention concerne des ensembles de pomme de douche qui présentent une protection contre les impacts améliorée. Dans certains modes de réalisation, un ensemble de pomme de douche comprend un corps qui présente un plénum disposé dans celui-ci, le corps comportant une pluralité de premiers trous qui s'étendent à partir du plénum jusqu'à une surface opposée à un substrat du corps; une plaque qui est disposée sur la surface opposée à un substrat du corps et qui comporte une pluralité de deuxièmes trous formés à travers celle-ci, un trou sur deux correspondant à un premier trou respectif du corps; et une lèvre qui s'étend à partir du corps et qui entoure la plaque, la lèvre s'étendant au-delà d'une surface opposée à une chambre de la plaque. Dans certains modes de réalisation, l'ensemble de pomme de douche est disposé dans le volume intérieur d'une chambre de traitement.