ELECTRON MICROSCOPE

• Main Authors: OKAI, NOBUHIRO, SOHDA, YASUNARI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 12.05.2011
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

Disclosed is a scanning electron microscope in which the electric charge on the surface of an insulating sample is reduced so as to suppress the occurrence of beam drift while preventing the decrease in resolving power thereof during the observation of the sample. Specifically disclosed is an electron microscope which comprises an electron source and an objective lens that converges an electron beam released from the electron source, and in which an image can be produced by means of a secondary signal generated from a sample upon the irradiation of the sample with the electron beam. The electron microscope is characterized in that a magnetic body having a continuous inner diameter larger than that of an upper magnetic pole that constitutes the objective lens is arranged between the objective lens and the sample. L'invention concerne un microscope électronique à balayage dans lequel on réduit la charge électrique à la surface d'un échantillon isolant afin de supprimer le phénomène de dérive du faisceau tout en évitant une chute de la capacité de résolution pendant l'observation de l'échantillon. Plus spécifiquement, le microscope électronique comprend une source d'électrons et un objectif faisant converger un faisceau d'électrons généré par la source d'électrons et dans laquelle on peut générer une image à l'aide d'un second signal généré par l'échantillon en réponse à l'irradiation de l'échantillon par le faisceau d'électrons. Le microscope électronique est caractérisé en ce qu'un corps magnétique ayant un diamètre intérieur continu supérieur à celui d'un pôle magnétique supérieur constituant l'objectif est implanté entre l'objectif et l'échantillon.