OPTICAL METROLOGY ON TEXTURED SAMPLES

• Main Author: NAOT, IRA
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 05.05.2011
• Subjects: CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

One or more parameters of a sample (101) that includes a textured substrate (202) and one or more overlying films (204) is determined using, e.g., an optical metrology device (100) to direct light to be incident on the sample (101) and detecting light after the incident light (114) interacts with the sample (101). The acquired data is normalized using reference data that is produced using a textured reference sample (304). The normalized data is then fit to simulated data that is associated with a model (410) having an untextured substrate (412) and one or more variable parameters. The value(s) of the one or more variable parameters from the model (410) associated with the simulated data having the best fit (308) is reported as measurement result (310). Selon l'invention, un ou plusieurs paramètres d'un échantillon (101) qui comprend un substrat texturé (202) et un ou plusieurs films de recouvrement (204) sont déterminés à l'aide, par exemple, d'un dispositif de métrologie optique (100) pour diriger une lumière afin qu'elle soit incidente sur l'échantillon (101) et détecter une lumière après que la lumière incidente (114) a interagi avec l'échantillon (101). Les données acquises sont normalisées à l'aide de données de référence qui sont générées à l'aide d'un échantillon de référence texturé (304). Les données normalisées sont ensuite ajustées à des données simulées qui sont associées à un modèle (410) ayant un substrat non texturé (412) et un ou plusieurs paramètres variables. La ou les valeurs du ou des paramètres variables provenant du modèle (410) associé aux données simulées ayant le meilleur ajustement (308) sont rapportées en tant que résultat de mesure (310).