CARBON NANOTUBE COLUMNS AND METHODS OF MAKING AND USING CARBON NANOTUBE COLUMNS AS PROBES

• Main Authors: YAGLIOGLU, ONNIK, FANG, TRELIANT, ELDRIDGE, BENJAMIN N, MATHIEU, GAETAN L
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 25.08.2011
• Subjects: CHEMISTRY; COMPOUNDS THEREOF; INORGANIC CHEMISTRY; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF; METALLURGY; NANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS,MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES ASDISCRETE UNITS; NANOTECHNOLOGY; NON-METALLIC ELEMENTS; PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING

Carbon nanotube columns each comprising carbon nanotubes can be utilized as electrically conductive contact probes. The columns can be grown, and parameters of a process for growing the columns can be varied while the columns grow to vary mechanical characteristics of the columns along the growth length of the columns. Metal can then be deposited inside and/or on the outside of the columns, which can enhance the electrical conductivity of the columns. The metalized columns can be coupled to terminals of a wiring substrate. Contact tips can be formed at or attached to ends of the columns. The wiring substrate can be combined with other electronic components to form an electrical apparatus in which the carbon nanotube columns can function as contact probes. L'invention porte sur des colonnes de nanotubes de carbone qui comportent chacune des nanotubes de carbone et qui peuvent être utilisées en tant que sondes de contact électriquement conductrices. Les colonnes peuvent être mises à croître, et les paramètres d'un processus pour la croissance des colonnes peuvent être amenés à varier pendant que les colonnes croissent de façon à faire varier des caractéristiques mécaniques des colonnes le long de la longueur de croissance des colonnes. Un métal peut ensuite être déposé à l'intérieur et/ou sur l'extérieur des colonnes, ce qui peut améliorer la conductivité électrique des colonnes. Les colonnes métallisées peuvent être couplées à des bornes d'un substrat de câblage. Des pointes de contact peuvent être formées à des extrémités des colonnes ou fixées à celles-ci. Le substrat de câblage peut être combiné à d'autres composants électroniques afin de former un appareil électrique dans lequel les colonnes de nanotubes de carbone peuvent jouer le rôle de sondes de contact.