METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING A THIN-FILM SOLAR BATTERY

• Main Authors: TAKAHASHI, HIROHISA, IKEDA, HITOSHI, KIM, CHANG HYOUNG, OHNISHI, TOMOKI, TAMAGAWA, KOUICHI, USAMI, TATSUMI, YAMAMOTO, YOSHIAKI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 10.03.2011
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PERFORMING OPERATIONS; REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGYGENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION; SEMICONDUCTOR DEVICES; SOLDERING OR UNSOLDERING; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS; TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINSTCLIMATE CHANGE; TRANSPORTING; WELDING; WORKING BY LASER BEAM

Disclosed are a method and apparatus for manufacturing a thin-film solar battery with which it is possible to pattern a ZnO-based transparent conductive film in a suitable manner. In the method for manufacturing a thin-film solar battery, an infrared pulsed laser beam is formed having a cross-sectional intensity distribution in which the beam intensity in the peripheral region is higher than that in the central region, and this infrared pulsed laser beam is irradiated onto a zinc oxide (ZnO)-based transparent conductive film formed on a transparent substrate. The infrared pulsed laser beam is then scanned over the zinc oxide (ZnO)-based transparent conductive film with the infrared pulsed laser beam duplicating part of the irradiation range. By employing an infrared pulsed laser beam having such a cross-sectional intensity distribution, film residues in the boundary section of a laser-irradiated region and non-irradiated region can be suppressed and the shape of the boundary section can be sharply formed. Thus, the zinc oxide-based transparent conductive film can be suitably patterned. Furthermore, the anticipated insulation resistance between adjacent conductive film patterns can be ensured. La présente invention concerne un procédé et un appareil de fabrication d'une batterie solaire à film mince grâce auxquels il est possible de former le motif d'un film conducteur transparent à base de ZnO de manière adaptée. Dans le procédé de fabrication d'une batterie solaire à film mince, un faisceau laser pulsé à infrarouge est formé et comporte une distribution d'intensité transversale dans laquelle l'intensité du faisceau dans la région périphérique est supérieure à celle de la région centrale, et ce faisceau laser pulsé à infrarouge est irradié sur un film conducteur transparent à base d'oxyde de zinc (ZnO) formé sur un substrat transparent. Le faisceau laser pulsé à infrarouge est ensuite balayé sur le film conducteur transparent à base d'oxyde de zinc (ZnO), ledit faisceau dupliquant une partie de la plage d'irradiation. Lorsque l'on emploie un faisceau laser pulsé à infrarouge ayant une telle distribution d'intensité transversale, les résidus de film dans la section limite d'une région irradiée au laser et d'une région non irradiée peuvent être supprimés et la forme de la section limite peut être constituée avec précision. Ainsi, le film conducteur transparent à base d'oxyde de zinc peut connaître un motif adéquat. De plus, la résistance à l'isolation anticipée entre des motifs de films conducteurs adjacents peut être garantie.