LASER MACHINING DEVICE AND LASER MACHINING METHOD

• Main Author: FUKUMITSU KENSHI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 17.02.2011
• Subjects: CHEMISTRY; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; GLASS; MACHINE TOOLS; MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; METALLURGY; MINERAL OR SLAG WOOL; PERFORMING OPERATIONS; SOLDERING OR UNSOLDERING; TRANSPORTING; WELDING; WORKING BY LASER BEAM; WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE; WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS

In order to improve the controllability of modified spots, a laser machining device (100) is provided with a first laser beam source (101) which emits a first pulsed laser beam (L1), a second laser beam source (102) which emits a second pulsed laser beam (L2), 1/2 wavelength plates (104, 105) which change the polarization directions of the respective pulsed laser beams (L1, L2), polarizing beam splitters (106, 107) which polarize and split the respective pulsed laser beams (L1, L2), the polarization directions of which have been changed, and a condenser lens (112) which converges the polarized and split pulsed laser beams (L1, L2) onto an object (1) to be machined. In the laser machining device (100), when the polarization directions of the pulsed laser beams (L1, L2) which are changed by the 1/2 wavelength plates (104, 105) are varied by a light intensity control unit (121), the ratio of the pulsed laser beams (L1, L2) which are polarized and split by the polarizing beam splitters (106, 107) is varied, and thus, the intensity of each of the pulsed laser beams (L1, L2) is adjusted. L'objet de l'invention est d'améliorer la contrôlabilité de points lumineux modifiés. A cet effet, un dispositif d'usinage laser (100) est pourvu d'une première source de faisceau laser (101) émettant un premier faisceau laser pulsé (L1), d'une seconde source de faisceau laser (102) émettant un second faisceau laser pulsé (L2), des plaques à 1/2 longueur d'onde (104, 105) modifiant les directions de polarisation des faisceaux laser pulsés respectifs (L1, L2), des séparateurs de faisceau de polarisation (106, 107) polarisant et séparant les faisceaux laser pulsés respectifs (L1, L2) dont les directions de polarisation ont été modifiées, et une lentille de condensation (112) convergeant les faisceaux laser pulsés séparés et polarisés (L1, L2) sur un objet (1) à usiner. Dans le dispositif d'usinage laser (100), lorsque les directions de polarisation des faisceaux laser pulsés (L1, L2) modifiées par les plaques de 1/2 longueur d'onde (104, 105) sont modifiées par une unité de commande d'intensité de lumière (121), le rapport des faisceaux laser pulsés (L1, L2) polarisés et séparés par les séparateurs de faisceau de polarisation (106, 107) est modifié, et l'intensité de chacun des faisceaux laser pulsés (L1, L2) est réglée.