PATTERN EVALUATION METHOD, DEVICE THEREFOR, AND ELECTRON BEAM DEVICE

• Main Authors: YAMANASHI, HIROMASA, OHASHI, TAKEYOSHI, SOHDA, YASUNARI, FUKUDA, MUNEYUKI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 03.02.2011
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

Disclosed is a pattern evaluation device which determines the irregularities of the surface of a sample and measures the dimension thereof using the parallax induced by a beam tilt, wherein the amount of an astigmatic difference or the amount of focus displacement is calculated from the amounts of pattern displacement before and after the beam tilt after being corrected by the amount of displacement that depends on the amount of beam deflection for moving the position of image acquisition. Specifically disclosed is a pattern evaluation device which, when acquiring one SEM image, continuously changes the angle of incidence of primary electrons, and acquires an image in which the regions obtained at different angles of incidence within the same image are continuously connected, thereby determining the irregularities on the basis of the acquisition of the one image. L'invention concerne un dispositif d'évaluation de motif déterminant les irrégularités de la surface d'un échantillon et mesurant la dimension de celle-ci à l'aide de la parallaxe induite par l'inclinaison d'un faisceau, la valeur de différence astigmatique ou la valeur de déplacement de la focalisation étant calculée à partir des valeurs de déplacement du motif avant et après l'inclinaison du faisceau, après correction par la valeur de déplacement dépendant de la valeur de déviation du faisceau, pour déplacer la position de l'acquisition d'image. En particulier, l'invention concerne un dispositif d'évaluation de motif qui, à l'acquisition d'une image par microscope électronique à balayage, modifie continûment l'angle d'incidence des électrons primaires, et acquiert une image dans laquelle les régions obtenues à différents angles d'incidence dans la même image sont reliées en continu, déterminant ainsi les irrégularités sur la base de l'acquisition de l'image.