MICROMECHANICAL TUNABLE FABRY-PEROT INTERFEROMETER, AN INTERMEDIATE PRODUCT, AND A METHOD FOR PRODUCING THE SAME

The invention relates to controllable Fabry-Perot interferometers which are produced with micromechanical (MEMS) technology. Producing prior art interferometers includes a risk of deterioration of mirrors during the etching of the sacrificial layer (123). According to the solution according to the i...

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Main Author BLOMBERG, MARTTI
Format Patent
LanguageEnglish
French
Published 02.12.2010
Subjects
COLORIMETRY
MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT
MEASURING
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
OPTICS
PHYSICS
RADIATION PYROMETRY
TESTING
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Summary:The invention relates to controllable Fabry-Perot interferometers which are produced with micromechanical (MEMS) technology. Producing prior art interferometers includes a risk of deterioration of mirrors during the etching of the sacrificial layer (123). According to the solution according to the invention at least one layer (103, 105, 114, 116) of the mirrors is made of silicon-rich silicon nitride. In the inventive Fabry-Perot interferometer it is possible to avoid or reduce using silicon oxide in the mirror layers whereby the risk of deterioration of the mirrors is reduced. It is also possible to use mirror surfaces with higher roughness, whereby the risk of the mirrors sticking to each other is reduced. L'invention concerne des interféromètres de Fabry-Pérot pouvant être commandés et dont le mode de production implique une technologie micromécanique (MEMS). Au cours de la production des interféromètres de l'art antérieur, les miroirs sont susceptibles d'être détériorés lors de la gravure la couche sacrificielle (123). La présente invention propose comme solution l'utilisation de miroirs comportant au moins une couche (103, 105,114, 116) composée de nitrure de silicium enrichi en silicium. L'utilisation d'oxyde de silicium dans les couches des miroirs des interféromètres de Fabry-Pérot de la présente invention peut être évitée ou réduite, ce qui permet de réduire le risque de détérioration des miroirs. Il est également possible d'utiliser des miroirs à surface plus rugueuse pour réduire le risque d'adhérence des miroirs les uns sur les autres.
Bibliography:Application Number: WO2010FI50434