CONTINUOUS VACUUM COATING INSTALLATION

• Main Authors: STRUEMPFEL, JOHANNES, JAEGER, REINHARD, ZINDLER, MATTHIAS, LESSMANN, STEFFEN, WOLF, ANDREJ, KLOOSS, MATTHIAS
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 11.11.2010
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Der Erfindung, die eine Durchlauf-Vakuumbeschichtungsanlage mit einer Anlagenkammer betrifft, die statisch bestimmten Versteifungselementen (4) umfasst, die mit Wandungen versehen sind, welche einen Vakuumraum (8) einschließen, liegt die Aufgabe zugrunde, mit der Gestaltung einer Durchlauf-Vakuumbeschichtungsanlage einerseits den gegensätzlichen technologischen Anforderungen gerecht zu werden und andererseits mit einem universalen Ansatz in der Kammerkonstruktion die Fertigungskosten für Anlagenkammern bei Anlagen mit starkem Wiederholcharakter zu beschränken. Dies wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Versteifungselemente (4) außerhalb des Vakuumraumes (8) angeordnet sind. The invention, which concerns a continuous vacuum coating installation with an installation chamber which comprises statically defined stiffening elements (4), which are provided with walls that enclose a vacuum space (8), is based on the object of on one hand making the configuration of a continuous vacuum coating installation meet the conflicting technological requirements and on the other hand using a universal approach to the construction of the chamber to limit the production costs for installation chambers in the case of installations of a highly repetitive character. This is achieved according to the invention by the stiffening elements (4) being arranged outside the vacuum space (8). L'invention concerne une installation de revêtement sous vide en continu, comprenant une chambre d'installations qui comprend des éléments de renforcement (4) déterminés statiquement, qui sont munis de parois qui renferment un compartiment à vide (8). L'invention a pour but, compte tenu de la configuration d'une installation de revêtement sous vide en continu, d'une part, de satisfaire des exigences technologiques opposées et, d'autre part, de limiter, au moyen d'une structure ajoutée universelle dans la construction de la chambre, le coût de production pour des chambres d'installations, dans le cas d'installations à caractère prononcé de répétition. A cet effet, l'invention est caractérisée en ce que les éléments de renforcement (4) sont disposés à l'extérieur du compartiment à vide (8).