BANDWIDTH NARROWING MODULE FOR SETTING A SPECTRAL BANDWIDTH OF A LASER BEAM

• Main Authors: LENGEL, ANTON, DEUBEL, MARKUS
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 11.11.2010
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; DEVICES USING STIMULATED EMISSION; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

Bandwidth narrowing module (1) for setting a spectral bandwidth ( &Delta,- ? ) of a laser beam (14) of a laser light source (10), comprising a beam expanding module (18) for expanding a laser beam transversely with respect to a propagation direction of the laser beam and comprising a reflection grating, wherein a first optical component (32) of the bandwidth narrowing module is configured in such a way that a disturbance with a cylindrical portion about a first axis transversely with respect to an optical axis of the bandwidth narrowing module can be impressed on a wavefront of a laser beam. According to the invention, the first optical component is embodied such that it is pivotable about a pivoting axis (35, 43) parallel to the first axis. The first optical component (32) may be a cylindrical lens wich is pivoted (43) to control a wavefront aberration along one axis. The bandwidth is controlled by a grating (28) and the cylindrical lens may be integrated in a prism (40). L'invention porte sur un module de resserrement de bande passante (1) pour régler une bande passante spectrale (&Delta, - ?) d'un faisceau laser (14) d'une source de lumière laser (10), comprenant un module d'élargissement de faisceau (18) pour élargir un faisceau laser transversalement par rapport à une direction de propagation du faisceau laser et comprenant un réseau de réflexion, un premier composant optique (32) du module de resserrement de bande passante étant configuré de telle manière qu'une perturbation à l'aide d'une partie cylindrique autour d'un premier axe transversalement par rapport à un axe optique du module de resserrement de bande passante peut être imprimée sur un front d'onde d'un faisceau laser. Selon l'invention, le premier composant optique est réalisé de telle manière qu'il peut pivoter autour d'un axe de pivotement (35, 43) parallèle au premier axe. Le premier composant optique (32) peut être une lentille cylindrique qui est faite pivoter (43) pour corriger une aberration de front d'onde le long d'un axe. La bande passante est commandée par un réseau (28) et la lentille cylindrique peut être intégrée dans un prisme (40).