ULTRA WIDE ANGLE MEMS SCANNER ARCHITECTURE

An optical microscanner achieves wide rotation angles utilizing a curved reflector. The optical microscanner includes a moveable mirror for receiving an incident beam and reflecting the incident beam to produce a reflected beam and a Micro Electro-Mechanical System (MEMS) actuator that causes a line...

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Main Authors HADDARA, HISHAM, KHALIL, DIAA, A., M
Format Patent
LanguageEnglish
French
Published 21.10.2010
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Summary:An optical microscanner achieves wide rotation angles utilizing a curved reflector. The optical microscanner includes a moveable mirror for receiving an incident beam and reflecting the incident beam to produce a reflected beam and a Micro Electro-Mechanical System (MEMS) actuator that causes a linear displacement of the moveable mirror. The curved reflector produces an angular rotation of the reflected beam based on the linear displacement of the moveable mirror. L'invention concerne un microscanner optique pui permet d'obtenir de grands angles de rotation au moyen d'un réflecteur incurvé. Le microscanner optique comprend un miroir mobile destiné à recevoir un faisceau incident et à réfléchir le faisceau incident afin de produire un faisceau réfléchi, et un actionneur à Système Micro-ÉlectroMécanique (MEMS) qui provoque un déplacement linéaire du miroir mobile. Le réflecteur incurvé produit une rotation angulaire du faisceau réfléchi sur la base du déplacement linéaire du miroir mobile.
Bibliography:Application Number: WO2010US31416