HIGH VOLTAGE POWER SUPPLY USED IN PLASMA ENVIRONMENT FACILITIES AND A CONTROL METHOD THEREOF

• Main Authors: KWON, BYONG KI, KIM, SOO HONG, LEE, JEONG HUM
• Format: Patent
• Language: English; French; Korean
• Published: 01.07.2010
• Subjects: APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC,OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWERSUPPLY SYSTEMS; CONTROL OR REGULATION THEREOF; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUTPOWER; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; ELECTRICITY; GENERATION

The present invention is directed to a high voltage power supply used in plasma environment facilities, which can easily increase an output voltage to be supplied to an output end by serial connection through modularization, and simultaneously and uniformly charge chargers in an individual high voltage power supply means. The high voltage power supply used in plasma environment facilities according to the present invention comprises 1st to N-th (N is a natural number no less than 2) high voltage power supply means, each of the 1st to N-th high voltage power supply means including: a primary rectifier for performing full-wave rectification on an AC voltage to generate a DC voltage; an inverter for converting the DC voltage into a radio-frequency square wave voltage by switching based on a switching control signal; a transformer having a primary side to receive the radio-frequency square wave voltage and a secondary side to generate a boosted, high voltage; a secondary rectifier for performing full-wave rectification on a high voltage on the secondary side of the transformer; and a charger for charging a voltage output from the secondary rectifier, and an inverter controller, which outputs 1st to N-th detected currents flowing through the 1st to N-th high voltage power supply means, 1st to N-th detected, divided voltages output from the 1st to N-th high voltage power supply means, a total output voltage of the 1st to N-th high voltage power supply means, and a reference voltage to provide a reference value of the charger being applied from outside and which receives a synchronous flag signal applied from outside and then outputs a synchronized switching control signal. L'invention concerne une alimentation électrique haute tension utilisée dans des locaux à environnement plasmique, qui permet d'augmenter facilement la tension de sortie à fournir à une extrémité de sortie par une connexion série par modularisation, et qui permet de charger simultanément et uniformément des chargeurs dans un moyen d'alimentation électrique haute tension individuel. L'alimentation électrique haute tension utilisée dans des locaux à environnement plasmique selon l'invention comprend de 1 à N (N étant un nombre naturel au moins égal à 2) moyens d'alimentation électrique haute tension qui comprennent chacun : un redresseur primaire pour effectuer un redressement d'onde pleine d'une tension CA afin de générer une tension CC; un onduleur pour convertir la tension CC en une tension d'onde carrée radiofréquence par commutation en fonction d'un signal de commande de commutation; un transformateur comprenant un côté primaire afin de recevoir la tension d'onde carrée radiofréquence et un côté secondaire pour générer une haute tension amplifiée; un second redresseur pour effectuer un redressement d'onde pleine de la haute tension du côté secondaire du transformateur; et un chargeur pour charger une sortie de tension provenant du redresseur secondaire, et une unité de commande d'onduleur qui émet 1 à N courants détectés circulant à travers les 1 à N moyens d'alimentation haute tension, 1 à N tensions divisées détectées émises des 1 à N moyens d'alimentation haute tension, une tension de sortie totale des 1 à N moyens d'alimentation haute tension, et une tension de référence afin de fournir une valeur de référence du chargeur étant appliquée de l'extérieur, et qui reçoit un signal drapeau synchrone appliqué de l'extérieur et émet un signal de commande de commutation synchronisé.