POSITIVE PHOTOSENSITIVE ORGANIC-INORGANIC HYBRID INSULATOR COMPOSITION

• Main Authors: YEO, TAE-HOON, KIM, DONG-MYUNG, LEE, SANG-HOON, CHOI, SU-YOUN, KIM, JIN-SUN, KIM, BYUNG-UK, KOO, KI-HYUK, YUN, JOO-PYO, SHIN, HONG-DAE, YOON, HYOC-MIN
• Format: Patent
• Language: English; French; Korean
• Published: 17.06.2010
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

The present invention relates to a positive photosensitive organic-inorganic hybrid insulator composition that comprises: i) a reactive silane containing 1-3 phenyl groups represented by chemical formula (1); and ii) a siloxane oligomer compound that is obtained by hydrolysis and condensation polymerization of a silane monomer of a tetra-functional silane represented by chemical formula (2) under a catalyst and has the average molecular weight (converted to polystyrene) of 1,000-2,0000. The positive photosensitive organic-inorganic hybrid insulator composition according to the present invention simplifies the process and reduces costs by forming a double structure of existing SiNx Passivation/acrylic photo-sensitive organic insulator into a mono-layer, improves sensitivity, resolution, process margin, transparency, and anti-thermochromism, reduces electric power consumption by obtaining an insulator having a low dielectric constant, and removes an afterimage, crosstalk, and a shift phenomenon of threshold voltage. In addition, the composition can increase reliability of a panel by enabling low outgassing through high thermal endurance. Therefore, the composition can be applied to a passivation insulator, a gate insulator, and a plate insulator in various displays. La présente invention concerne une composition d'isolant hybride organique-inorganique photosensible positif comprenant : i) un silane réactif contenant 1 à 3 groupes phényles représenté par la formule chimique (1) ; et ii) un oligomère de siloxane qui est obtenu par hydrolyse et polymérisation par condensation d'un monomère de silane tétra-fonctionnel représenté par la formule chimique (2) en présence d'un catalyseur et qui possède un poids moléculaire moyen (converti par rapport au polystyrène) de 1000 à 20 000. La composition d'isolant hybride organique-inorganique photosensible positif de la présente invention simplifie le procédé et réduit les coûts du fait de la formation d'une double structure constituée d'une monocouche de passivation en SiNx/isolant organique acrylique photosensible, améliore la sensibilité, la résolution, la marge du procédé, la transparence et l'anti-thermochromisme, réduit la consommation d'électricité du fait de l'obtention d'un isolant ayant une constante diélectrique basse, et élimine la rémanence d'une image, la diaphonie et le phénomène de décalage d'une tension seuil. En outre, la composition peut accroître la fiabilité d'un panneau en permettant un faible dégazage du fait d'une résistance thermique élevée. Par conséquent, la composition peut être appliquée à un isolant de passivation, un isolant de grille et un isolant de plaque de divers dispositifs d'affichage.