RESIST PATTERN COATING AGENT AND METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN

• Main Authors: SUGIURA, MAKOTO, WAKAMATSU, GOJI, FUJIWARA, KOICHI, ANNO, YUSUKE
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 03.06.2010
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CHEMISTRY; CINEMATOGRAPHY; COMPOSITIONS BASED THEREON; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVINGCARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS; MATERIALS THEREFOR; METALLURGY; ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP

Disclosed is a resist pattern coating agent which can smoothly contract a resist pattern by a heat treatment and can be easily removed by an aqueous alkaline solution treatment performed thereafter.  The resist pattern coating agent contains a resin, a crosslinking agent and a solvent, and the crosslinking agent contains a compound represented by formula (1). In formula (1), A and D each independently represents a single bond, a methylene group, a linear or branched alkylene group having 2-10 carbon atoms, or a divalent cyclic hydrocarbon group having 3-20 carbon atoms; E represents a linear or branched alkyl group having 1-10 carbon atoms or a monovalent cyclic hydrocarbon group having 3-20 carbon atoms; m represents an integer of 2-4; and n represents 0 or 1. La présente invention concerne un agent de revêtement de motif de résine photosensible qui peut facilement contracter un tel motif par un traitement thermique, et qui peut être facilement retiré par un traitement ultérieur avec une solution aqueuse alcaline. Cet agent contient une résine, un agent de réticulation et un solvant, l'agent de réticulation contenant un composé représenté par la formule (1) dans laquelle A et D représentent chacun indépendamment une liaison simple, un groupe méthylène, un groupe alkylène linéaire ou ramifié portant 2-10 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné cyclique divalent portant 3-20 atomes de carbone, E représente un groupe alkyle linéaire ou ramifié de 1-10 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné cyclique monovalent de 3-20 atomes de carbone, m représente un entier valant de 2 à 4, et n vaut 0 ou 1.