DROP DEPOSITION DEVICE FOR IMPRINT LITHOGRAPHY
A fluid for dispensation on a substrate. In one implementation, the fluid comprises a set of fluid parameters to facilitate dispensation of the fluid from the system. In another implementation, the fluid comprises a set of fluid parameters specific to a polymerizable material. L'invention conce...
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Format | Patent |
Language | English French |
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29.04.2010
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Summary: | A fluid for dispensation on a substrate. In one implementation, the fluid comprises a set of fluid parameters to facilitate dispensation of the fluid from the system. In another implementation, the fluid comprises a set of fluid parameters specific to a polymerizable material.
L'invention concerne un système selon lequel, un liquide est distribué sur un substrat. Dans un mode de réalisation, le liquide comprend un ensemble de paramètres fluidiques dont l'objet est de faciliter la distribution du liquide à partir du système. Dans un autre mode de réalisation, le liquide comprend un ensemble de paramètres fluidiques propres à un matériau polymérisable. |
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Bibliography: | Application Number: WO2009US05678 |