SPM NANOPROBES AND THE PREPARATION METHOD THEREOF

• Main Authors: CHOI, JIN HO, JEONG, KWANG HOON, KAHNG, YUNG-HO, PARK, BUONG CHON, AN, SANG JUNG
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 04.02.2010
• Subjects: APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM]; MEASURING; PHYSICS; SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; TESTING

The present invention relates to SPM nanoprobes and the preparation method thereof, more particularly, to SPM nanoprobes comprising a spheroid deposit capped-nanoneedle bonded to one end of a mother tip, wherein the spheroid deposit is formed by particle beam induced deposition and is characterized in that the ratio of the diameter of the spheroid deposit to that of the nanoneedle is in the range of 1.5 to 8.5. The SPM nanoprobe according to the present invention is capable of imaging or measuring a irregularly curved or complicated surface, pattern and/or a frictional or adhesive force thereof and controlling size of a spheroid deposit formed at the end portion of nanoneedle and the ratio of the diameter of the spheroid deposit to that of the nanoneedle arbitrarily. L'invention concerne des nanosondes SPM et leur procédé de préparation. Plus précisément, l'invention concerne des nanosondes SPM comprenant des nano-aiguilles coiffées d'un dépôt sphéroïde liées à une extrémité d'une pointe mère, le dépôt sphéroïde étant formé par un dépôt induit par un faisceau de particules et se caractérisant en ce que le rapport du diamètre du dépôt sphéroïde sur celui de la nano-aiguille se situe entre 1,5 et 8,5. La nanosonde SPM selon l'invention peut imager ou mesurer une surface incurvée ou complexe de manière irrégulière, un motif et/ou une force de frottement ou adhésive et réguler la taille d'un dépôt sphéroïde formé à la partie d'extrémité de la nano-aiguille ainsi que le rapport du diamètre du dépôt sphéroïde sur celui de la nanoaiguille de manière arbitraire.