DEFECT REVIEW DEVICE AND METHOD, AND PROGRAM

• Main Authors: SUZUKI NAOMASA, FUKUDA MUNEYUKI, TAKAHASHI NORITSUGU, SHOJO TOMOYASU, OBARA KENJI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 04.02.2010
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

Provided is a device capable of combining a reduction in a coordinate error and an improvement in throughput to observe a micro-defect. The device is provided with a function of measuring the amount of the displacement between a previously calculated coordinate and an actual sample position, a function of optimizing a coordinate correction formula so as to minimize the amount of the displacement measured, and a function of calculating the variation in the displacement between the previously calculated coordinate and the actual sample position by means of statistical processing, wherein only a high-magnification image which is a defect observation image is acquired without acquiring any low-magnification image which is a defect search image if the variation value of the coordinate is small enough for the view width of the high-magnification image. L'invention porte sur un dispositif capable de combiner une réduction d'une erreur de coordonnée et une amélioration du débit de traitement pour observer un microdéfaut. Le dispositif comprend une fonction de mesure de la quantité de déplacement entre une coordonnée calculée précédemment et la position réelle de l'échantillon, une fonction d'optimisation d'une formule de correction de coordonnée de façon à rendre minimale la quantité du déplacement mesuré, et une fonction de calcul de la variation du déplacement entre la coordonnée calculée précédemment et la position réelle de l'échantillon au moyen de traitement statistique, seulement une image de fort grossissement qui est une image d'observation de défaut étant acquise sans acquisition d'une quelconque image à faible grossissement qui est une image de recherche de défaut si la valeur de variation de la coordonnée est suffisamment faible pour la largeur de vue de l'image de fort grossissement.