PLASMA REACTOR ELECTROSTATIC CHUCK HAVING A COAXIAL RF FEED AND MULTIZONE AC HEATER POWER TRANSMISSION THROUGH THE COAXIAL FEED

• Main Authors: PALAGASHVILI, DAVID, WILLWERTH, MICHAEL, D, PATERSON, ALEXANDER, M, HATCHER, BRIAN, K, BUCHBERGER JR., DOUGLAS, A
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 12.11.2009
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS; SEMICONDUCTOR DEVICES

A workplace support pedestal includes an insulating puck having a workpiece support surface, a conductive plate underlying the puck, the puck containing electrical utilities an? thermal media channels, and an axialIy translatable coaxial RF path assembly underlying the conductive plate, The coaxial RF path assembly includes a center conductor, a grounded outer conductor and a tubular insulator separating the center and outer conductors, whereby the puck, plate and coaxial RF path assembly comprise a movable assembly whose axial movement is controlled by a lift servo. Plural conduits extend axialIy through the center conductor and are coupled, to the thermal media utilities. Plural electrical conductors extend axially through the tubular insulator and are connected to the electrical utilities. Selon l'invention, un socle-support de travail comporte une platine circulaire isolante munie d'une face support de pièce, une plaque conductrice située sous la platine, la platine contenant des lignes d'alimentation électrique et des canalisations de fluides thermiques, et un ensemble d'alimentation RF coaxiale mobile selon l'axe situé sous la plaque conductrice. L'ensemble d'alimentation RF coaxiale renferme un conducteur central, un conducteur externe mis à la terre et un isolateur tubulaire séparant les conducteurs central et externe, la platine, la plaque et l'ensemble d'alimentation RF coaxiale formant un ensemble mobile dont le mouvement axial est contrôlé par un servomécanisme de levage. Plusieurs conduits s'étendent dans la direction axiale à travers le conducteur central et sont reliés aux canalisations de distribution de fluides thermiques. Plusieurs conducteurs électriques s'étendent dans la direction axiale à travers l'isolateur tubulaire et sont reliés aux lignes de distribution électrique.