PERPENDICULAR FINE-CONTACT PROBE HAVING A VARIABLE-STIFFNESS STRUCTURE

• Main Authors: LEE, HAK-JOO, KIM, KYUNG-SHIK, KIM, JUNG-YUP
• Format: Patent
• Language: English; French; Korean
• Published: 12.11.2009
• Subjects: MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

A perpendicular fine-contact probe according to one aspect of the present invention comprises: a column part in which a plurality of units are formed linking together, stacking up in the length direction; and a tip part which is formed at the tip of the column part and which makes contact with an electrode pad of a semiconductor chip. The units comprise: probe bodies which alternately curve to left and right; and projections which protrude from the probe bodies and are located to left and right relative to the centre in the width direction, and which can support the probe bodies by coming into contact with the probe bodies which come into adjacent abutment during compression. Selon un aspect de cette invention, une sonde de contact fin perpendiculaire comprend: une partie de colonne dans laquelle plusieurs unités sont reliées entre elles, et empilées dans le sens de la longueur; et une partie d'extrémité qui est formée au niveau de l'extrémité de la partie de colonne et qui établit un contact avec une pastille d'électrode d'une puce à semiconducteur. Les unités comprennent : des corps de sonde qui sont alternativement incurvé vers la gauche et vers la droite; et des projections qui font saillie à partir des corps de sonde et qui sont situées à gauche ou à droite par rapport au centre dans le sens de la largeur, et qui peuvent supporter les corps de sonde en entrant en contact avec ceux-ci, lesquels se mettent en butée durant la compression.