ROLL TO ROLL OLED PRODUCTION SYSTEM

• Main Authors: WHITE, JOHN, M, TAKEHARA, TAKAKO
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 04.03.2010
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present invention generally relates to a method and an apparatus for processing one or more substrates on a roll to roll system. The one or more substrates may pass through several processing chambers to deposit the layers necessary to produce an OLED structure. The processing chambers may include ink jetting chambers, chemical vapor deposition (CVD) chambers, physical vapor deposition (PVD) chambers, and annealing chambers. Additional chambers may also be present. La présente invention porte d'une manière générale sur un procédé et sur un appareil pour traiter un ou plusieurs substrats sur un système rouleau à rouleau. Le ou les substrats peuvent passer à travers plusieurs chambres de traitement pour déposer les couches nécessaires afin de produire une structure de diode électroluminescente organique (DELO). Les chambres de traitement peuvent comprendre des chambres d'éjection d'encre, des chambres de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), des chambres de dépôt physique en phase vapeur (PVD), et des chambres de recuit. Des chambres supplémentaires peuvent également être présentes.