MODIFIED SPUTTERING TARGET AND DEPOSITION COMPONENTS, METHODS OF PRODUCTION AND USES THEREOF

• Main Authors: NOLANDER, IRA G, WILLETT, WILLIAM B, RUGGIERO, MARC
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 22.10.2009
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Deposition apparatus are described herein that include at least one coil, at least one coil set, at least one coil-related apparatus, at least one target-related apparatus or a combination thereof, wherein the at least one coil, at least one coil set, at leastone coil-related apparatus, at least one target-related apparatus or a combination thereof comprises a surface, and wherein at least part of the surface comprises a regular depth pattern. Methods of producing a coil, coil set or a coil-related apparatus, at least one target-related apparatus are also disclosed herein that comprise: providing at least one coil, at least one coil set, at least one coil-related apparatus, at least one target-related apparatus or a combination thereof, wherein the at least one coil, at least one coil set, at least one coil-related apparatus, at least one target-related apparatus or a combination thereof comprises a surface, providing a patterning tool; and utilizing the patterning tool to create a regular depth pattern in at least part of the surface. L'invention concerne un dispositif de dépôt comprenant au moins une bobine, au moins un ensemble bobine, au moins un dispositif lié à la bobine, au moins un dispositif lié à la cible, ou une combinaison de ceux-ci. Ladite ou lesdites bobines, ledit ou lesdits ensembles bobine, ledit ou lesdits dispositifs liés à la bobine, ledit ou lesdits dispositifs liés à la cible, ou une combinaison de ceux-ci comprennent une surface, et au moins une partie de la surface comprend un motif de profondeur régulier. L'invention concerne également des procédés de production d'une bobine, d'un ensemble bobine ou d'un dispositif lié à la bobine, d'au moins un dispositif lié à la cible comprenant les étapes suivantes : la fourniture d'au moins une bobine, d'au moins un ensemble bobine, d'au moins un dispositif lié à la bobine, d'au moins un dispositif lié à la cible, ou d'une combinaison de ceux-ci, ladite ou lesdites bobines, ledit ou lesdits ensembles bobine, ledit ou lesdits dispositifs liés à la bobine, ledit ou lesdits dispositifs liés à la cible ou une combinaison de ceux-ci, comprenant une surface ; la fourniture d'un outil de formation de motif ; et l'utilisation de l'outil de formation de motif pour créer un motif de profondeur régulier dans au moins une partie de la surface.