SPRAY-COATED BODY, METHOD OF COATING AN OBJECT BY A SPRAY COATING PROCESS AND APPARATUS FOR PERFORMING THE SAME

In a spray-coated body and apparatus and method of forming a spray-coating layer, the spray- coating layer is positioned on a surface of a object body and has a volume resistivity in a range of about 1010 O-cm to about 1014 O-cm. Accordingly, the spray-coating layer has an optimized volume resistivi...

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Main Authors RYU, CHUNG-RYOUL, YE, KYUNG-HWAN, JANG, KYUNG-IC, KIM, SAM-WOONG
Format Patent
LanguageEnglish
French
Published 25.06.2009
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Summary:In a spray-coated body and apparatus and method of forming a spray-coating layer, the spray- coating layer is positioned on a surface of a object body and has a volume resistivity in a range of about 1010 O-cm to about 1014 O-cm. Accordingly, the spray-coating layer has an optimized volume resistivity and the chemical or plasma damage to the spray-coating layer may be minimized in the spray coating process, to thereby improve the characteristics of the spray- coating layer and the reliability of the spray coating process. La présente invention concerne un corps revêtu par pulvérisation, ainsi qu'un un appareil et un procédé permettant de former une couche de revêtement par pulvérisation. La couche de revêtement par pulvérisation, qui est disposée sur une surface d'un corps d'objet, présente une résistivité transversale se situant dans une plage allant d'environ 1010 O-cm à environ 1014 O-cm. Il en résulte que la couche de revêtement par pulvérisation présente une résistivité transversale optimale, et que le traitement de revêtement par pulvérisation provoque moins de dégâts chimiques ou plasmatiques dans la couche de revêtement par pulvérisation, ce qui permet d'améliorer les caractéristiques de la couche de revêtement par pulvérisation et la fiabilité du traitement de revêtement par pulvérisation.
Bibliography:Application Number: WO2008KR03239