TRANSFER MECHANISM WITH MULTIPLE WAFER HANDLING CAPABILITY

• Main Authors: BARKER, DAVID, TABRIZI, FARZAD
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 23.07.2009
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

An integrated robotic mechanism is disclosed for improving transport equipment, integrating an object movement with other functionalities such as alignment or identification. The disclosed integrated robot assembly can comprise a multiple end effector for moving a plurality of workpieces, a single end effector for moving a single workpiece, a rotation chuck incorporated on the robot body to provide alignment capability, and an optional identification subsystem for identify the object during transport. The present invention robot assembly can be used in a sorter or stocker equipment, in processing equipment, and a transfer system. L'invention concerne un mécanisme robotique intégré destiné à améliorer un équipement de transport, à associer au mouvement d'un objet d'autres fonctionnalités telles que l'alignement ou l'identification. L'ensemble robot intégré de l'invention peut comprendre: plusieurs effecteurs pour déplacer plusieurs pièces à travailler; un effecteur simple pour déplacer une seule pièce à travailler; un mandrin de rotation incorporé dans le corps du robot pour conférer la capacité d'alignement; et un sous-système d'identification facultatif pour identifier l'objet pendant le transport. L'ensemble robot de l'invention peut être utilisé dans un équipement de tri ou de stockage, dans un équipement de traitement ou dans un système de transfert.