AN INTEGRATED WAFER TRANSFER MECHANISM

• Main Authors: BARKER, DAVID, TABRIZI, FARZAD, MANTRIPRAGADA, SAI, LOBIANCO, ROBERT
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 26.03.2009
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

An integrated high speed robotic mechanism is disclosed for improving transport equipment, integrating an object movement with other functionalities such as alignment or identification. The disclosed integrated robot assembly typically comprises an end effector for moving the object in and out of a chamber, a rotation chuck incorporated on the robot body to provide centering and theta alignment capability, and an optional identification subsystem for identifying the object during transport. The present invention also discloses a transfer robot system, employing a plurality of integrated robot assemblies; a transfer system where a transfer robot system can service a plurality of connected chambers such as FOUP or FOSB; a front end module (FEM); or a sorter system. Through the use of these incorporated capabilities into the moving robot, single object transfer operations can exceed 500 parts per hour. L'invention concerne un mécanisme robotique haute vitesse intégré permettant d'améliorer l'équipement de transport, intégrant un objet se déplaçant au moyen d'autres fonctionnalités telles que l'alignement ou l'identification. L'ensemble robot intégré de l'invention comprend généralement un organe terminal pour faire rentrer et sortir l'objet d'une chambre, un mandrin rotatif incorporé sur le corps du robot pour assurer le centrage et une capacité d'alignement thêta, et un sous-système d'identification optionnel pour identifier l'objet au cours du transport. La présente invention concerne également un système robotique de transfert utilisant une pluralité d'ensembles robotiques intégrés; un système de transfert dans lequel un système robotique de transfert peut desservir une pluralité de chambres raccordées telles que FOUP ou FSOB; un module frontal (FEM) ou un système de tri. En utilisant ces capacités incorporées dans le robot mobile, des opérations de transfert d'objets individuels peuvent dépasser 500 pièces par heure.