QUARTZ GLASS CRUCIBLE AND METHOD FOR TREATING SURFACE OF QUARTZ GLASS CRUCIBLE

There is provided a quartz glass article having a surface treated with novel coating materials which provides a reduced chemistry, wherein the quartz glass surface having a reduced chemistry upon exposure to melted silicon or similarly corrosive environments, forms crystalline structures covering at...

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Main Authors HANSEN, RICHARD, LEE, DEVANATHAN, NARSI, KIRCHER, THEODORE, P
Format Patent
LanguageEnglish
French
Published 19.03.2009
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Summary:There is provided a quartz glass article having a surface treated with novel coating materials which provides a reduced chemistry, wherein the quartz glass surface having a reduced chemistry upon exposure to melted silicon or similarly corrosive environments, forms crystalline structures covering at least 30% of the coated surface of the quartz glass crucible. Said crystalline covered surface provides a more stable surface of contact with the silicon melt and the growth of single crystal silicon. In one embodiment of the invention, the coating material comprises at least a methyl group for providing at least one of a hydrogenated and a methylated surface on the coated surface, forming rosette structures, or other crystalline morphologies covering at last 80% of the coated surface. In another embodiment of the invention, the coating material is selected from at least one of an amine, an organosilane halogen and mixtures thereof. L'invention concerne un article en verre de silice dont une surface est traitée au moyen de nouveaux matériaux de revêtement offrant une chimie réduite, la surface du verre de silice à chimie réduite formant, lorsqu'elle est exposée à du silicium fondu ou à des environnements corrosifs similaires, des structures cristallines qui recouvrent au moins 30% de la surface revêtue du creuset en verre de silice. La surface revêtue des structures cristallines constitue une surface plus stable de contact avec le silicium fondu et pour la croissance de silicium monocristallin. Dans un mode de réalisation de l'invention, le matériau de revêtement comprend au moins un groupe méthyle qui permet de former une surface hydrogénée et/ou méthylée sur la surface revêtue, de former des structures en rosettes ou d'autres morphologies cristallines recouvrant au moins 80% de la surface revêtue. Dans un autre mode de réalisation, le matériau de revêtement est choisi entre une amine et/ou un halogène organosilane et/ou des mélanges de ces derniers.
Bibliography:Application Number: WO2008US10401