METHOD OF MAKING PATTERNING DEVICE, PATTERNING DEVICE FOR MAKING PATTERNED STRUCTURE, AND METHOD OF MAKING PATTERNED STRUCTURE

• Main Authors: BOETTIGER, ULRICH, OLIVER, STEVE
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 18.12.2008
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES; MATERIALS THEREFOR; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; NANOTECHNOLOGY; ORIGINALS THEREFOR; PERFORMING OPERATIONS; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; TRANSPORTING

A method and apparatus to fabricate a patterned structure using a template supported on a carrier. The method includes patterning a material to conform to the patterned structure. The patterned material is cured while remaining on the template. The carrier is removable during the curing process. The template is later removed from the patterned material to obtain the patterned structure. A patterning device is also provided, which is formed by a template and a carrier releasably attached to each other. The template and the carrier can be separated from each other when the patterning device is subjected to curing of the patterned structure. L'invention concerne un procédé et un appareil pour fabriquer une structure modelée en utilisant un gabarit soutenu par un support. Le procédé consiste à modeler un matériau pour qu'il soit conforme à la structure modelée. Le matériau modelé est durci alors qu'il repose sur le gabarit. Le support peut être retiré au cours du processus de durcissement. Le gabarit est retiré ultérieurement du matériau modelé afin d'obtenir la structure modelée. Un dispositif de modelage, qui est formé d'un gabarit et d'un support fixés l'un à l'autre de manière amovible, est également prévu. Le gabarit et le support peuvent être séparés l'un de l'autre lorsque le dispositif de modelage est soumis au durcissement de la structure modelée.