PROBE CARD

• Main Authors: NIDAIRA, TAKASHI, ISHIKAWA, SHIGEKI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 13.11.2008
• Subjects: MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

A probe card is provided with a plurality of probes, each of which is made of a conductive material and has one end in the longitudinal direction brought into contact with a plurality of probes from a direction substantially orthogonally intersecting with a surface of an inspecting object, so as to easily and accurately perform alignment between the probe and the inspecting object, even when a probe whose longer side is brought into contact with the surface of the inspecting object from the direction substantially orthogonally intersecting with the surface of the inspecting object. The probe card is also provided with a probe holder, which has a plurality of hole sections each of which penetrates in the board thickness direction and stores one of the probes, and has a first opening section penetrating in the board thickness direction; a wiring board, which is firmly adhered to the probe holder, has a wiring section electrically connected to the probes and a circuit structure, and a second hole section which penetrates in the board thickness direction and communicates with the first opening section; and a plurality of mark members, each of which has a leading end section positioned inside a three-dimensional region formed by extending the first and the second opening sections in the board thickness direction of the probe holder and the wiring board. La carte de sonde selon l'invention est pourvue d'une pluralité de sondes, chacune étant constituée d'un matériau conducteur et ayant une extrémité dans la direction longitudinale mise en contact avec une pluralité de sondes dans une direction croisant sensiblement orthogonalement une surface d'un objet d'inspection de manière à effectuer facilement et avec précision un alignement entre la sonde et l'objet d'inspection, même avec une sonde dont un côté plus long est mis en contact avec la surface de l'objet d'inspection dans la direction croisant sensiblement orthogonalement la surface de l'objet d'inspection. La carte de sonde est pourvue également d'un support de sonde, qui comporte une pluralité de sections de trou pénétrant chacune dans la direction d'épaisseur de carte et recevant une des sondes, et comporte une première section d'ouverture pénétrant dans la direction d'épaisseur de carte ; une carte de câblage, qui est fermement collée au support de sonde, comporte une section de câblage connectée électriquement aux sondes et à une structure de circuit, et une deuxième section de trou qui pénètre dans la direction d'épaisseur de carte et qui communique avec la première section d'ouverture ; et une pluralité d'éléments de marque, ayant chacun une section d'extrémité avant positionnée à l'intérieur d'une région tridimensionnelle formée en étendant les première et deuxième sections d'ouverture dans la direction d'épaisseur de carte du support de sonde et de la carte de câblage.