HIGHLY SENSITIVE BOLOMETRIC SENSOR
A highly sensitive bolometric sensor (1) capable of being prepared with tnicro-manuf acturing techniques, wherein such sensor may be placed in a bi-dimensional array, with high degree of filling. It is constituted by at least one platform (2) to capture electromagnetic radiation, by defining a chann...
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Format | Patent |
Language | English French |
Published |
05.02.2009
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Summary: | A highly sensitive bolometric sensor (1) capable of being prepared with tnicro-manuf acturing techniques, wherein such sensor may be placed in a bi-dimensional array, with high degree of filling. It is constituted by at least one platform (2) to capture electromagnetic radiation, by defining a channel in the central part capable of locating inside at least two bars (4) linked to such platform by one end, and by the remaining ends to respective anchoring elements (5) to a substrate located below such platform (2). Such bars (4) possess at least one section reduction (6, I)I where preferably such section reductions (6, 7) are two on each bar, and located on the ends thereof.
Capteur bolométrique ultra-sensible issu de micro-techniques de fabrication. Un tel capteur peut être disposé dans un ensemble bidirectionnel à coefficient de remplissage élevé. Il est constitué d'au moins une plate-forme (2) destinée à capturer le rayonnement électro-magnétique, dans la partie centrale de laquelle est défini un canal capable de positionner à l'intérieur au moins deux barrettes (4) reliées à ladite plate-forme par une extrémité et par les extrémités restantes à des éléments d'ancrage (5) sur un substrat (5) situé au-dessous de la plate-forme (2). lesdites barrettes (4) présentant au moins une diminution de section (6, 1), lesdites réductions de section (6,7) - deux par barrette - étant disposées de préférence aux extrémités de cette barrette. |
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Bibliography: | Application Number: WO2008IB51378 |