MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM WITH ACTUATORS

• Main Authors: GILLIES, MURRAY, F, VAN DIJK, ROY, JOHNSON, MARK, T, PONJEE, MARC, W., G, DEN TOONDER, JACOB, M., J
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 03.07.2008
• Subjects: ADVERTISING; ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICESUSING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION; BLASTING; CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; DISPLAYING; EDUCATION; ELECTRICITY; HEATING; LABELS OR NAME-PLATES; LIGHTING; MECHANICAL ENGINEERING; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; PHYSICS; POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS; SEALS; SIGNS; TRANSPORTING; WEAPONS

The invention relates to a micro-electro-mechanical system comprising a ciliary actuator (100) having a flexible electrode unit (FE) and a stationary electrode unit (SE), wherein the flexible electrode unit (FE) can be rolled-up or out according to a voltage (VPMA) applied between the flexible and the stationary electrode unit (SE). The invention provides means that allow to bring the actuator into a stable intermediate state (INT) between the totally rolled-up (UP) and the totally rolled-out (DWN) state. In one embodiment of the invention, the means comprise the application of a definite voltage and/or the transfer of a definite charge to the actuator. In another embodiment, the stationary electrode unit (SE) is composed of several segments of different drive electrodes (SE1, SE2) that can selectively be activated to roll the actuator (100) to a desired position. La présente invention concerne un système micro-électro-mécanique comprenant un actionneur ciliaire (100) comprenant une unité d'électrode flexible (FE) et une unité d'électrode fixe (SE), l'unité d'électrode flexible (FE) pouvant être enroulée ou déroulée en fonction d'une tension (VPMA) appliquée entre l'unité d'électrode flexible et l'unité d'électrode fixe (SE). L'invention a pour objet des moyens permettant de mettre l'actionneur dans un état intermédiaire stable (INT) entre l'état totalement enroulé (UP) et l'état totalement déroulé (DWN). Dans un mode de réalisation de l'invention, les moyens comprennent l'application d'une tension définie et/ou le transfert d'une charge définie à l'actionneur. Dans un autre mode de réalisation, l'unité d'électrode fixe (SE) se compose de différents segments de différentes électrodes (SE1, SE2) qui peuvent être activées de manière sélective pour enrouler l'actionneur (100) dans une position désirée.