SUBSTRATE SUPPORT COMPONENTS HAVING QUARTZ CONTACT TIPS

• Main Authors: MARTIN, TODD, W, KHURANA, NITIN, DECOTTIGNIES, ROBERT, SUN, SONG-MOON, ANGELO, DARRYL, NG, EDWARD, RONAN, TIMOTHY, GUO, YUANHONG
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 15.05.2008
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

A support component comprises a support structure having a support surface with one or more quartz contact tips. In one version, the support component comprises a robot blade capable of transferring a substrate into and out of a chamber. The robot blade comprises a plate having a plurality of raised mesas, each raised mesa comprising a quartz contact tip which minimizes contact with the substrate thereby generating fewer contaminant particles during substrate transportation. Other versions of the support component include a heat exchange pedestal, lift pin assembly, and lifting fin assembly. La présente invention concerne un composant de support qui comprend une structure de support composée d'une surface de support avec une ou plusieurs extrémités de contact de quartz. Dans une version, le composant de support comprend une lame de robot capable de transférer un substrat dans et hors d'une chambre. La lame de robot comprend une plaque ayant une pluralité de mesas surélevées, chaque mesa surélevée comprenant une extrémité de contact de quartz qui réduit le contact avec le substrat générant ainsi moins de particules contaminantes au cours du transport du substrat. D'autres versions du composant de support comprennent un socle d'échange thermique, un ensemble de lamelles élévatrices, un ensemble d'ailettes élévatrices.