SEMICONDUCTOR INSPECTING APPARATUS AND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT

• Main Author: SANTO, TAKESHI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 03.04.2008
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INFORMATION STORAGE; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; STATIC STORES; TESTING

In wafer-level burn-in test, although supply of a sufficient power supply current is required for operating a semiconductor integrated circuit on a wafer, there are some cases where the power supply current exceeds an allowable current quantity due to variance of transistor characteristics of the semiconductor integrated circuit. An operation power supply current is measured during the burn-in test by a current measuring apparatus (3), and based on the measured current value, the operation frequency of an operation signal (13) to be supplied from a signal generating apparatus (5) to the semiconductor integrated circuit to be tested is controlled, and the operation power supply current is controlled. Dans un test de vitrification au niveau d'une plaquette, bien que l'alimentation en un courant d'alimentation suffisant soit nécessaire pour faire fonctionner un circuit intégré semi-conducteur sur une plaquette, il existe certains cas où le courant d'alimentation dépasse une quantité de courant autorisée en raison des variations de caractéristiques de transistor du circuit intégré semi-conducteur. Un courant d'alimentation de fonctionnement est mesuré pendant le test de vitrification par un appareil de mesure de courant (3), et en fonction de la valeur du courant, la fréquence de fonctionnement d'un signal de fonctionnement (13) à transmettre depuis un appareil générateur de signal (5) au circuit intégré semi-conducteur à tester est contrôlée, de même par conséquent que le courant d'alimentation de fonctionnement.