DYE-CONTAINING RESIST COMPOSITION CONTAINING PHOTOACID GENERATOR, AND CYCLOHEXADIENE-TYPE OXIME SULFONATE COMPOUND

• Main Authors: KIKUCHI, TAKAMASA, SUZUKI, HIDEO, MIYAZAWA, TOMOE
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 20.03.2008
• Subjects: ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CHEMISTRY; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; METALLURGY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; ORGANIC CHEMISTRY; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

[PROBLEMS] To provide a dye-containing resist composition which can provide a color filter suppressed in the coloration at the visible region (400 to 730 nm). [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A dye-containing resist composition containing a photoacid generator comprising a cyclohexadiene-type oxime sulfonate compound represented by the formula [1]. [1] wherein R1, R2, R5, R6 and R7 independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, CN, NO2, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms, or the like; R3 represents a hydrogen atom, a halogen atom, a nitro group, a CN group, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms, or the like; R4 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms, a haloalkyl group having 1 to 5 carbon atoms, a haloalkoxy group having 1 to 5 carbon atoms, a phenyl group which may be substituted by W, or the like; and W represents a halogen atom, CN, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, or the like; and n represents an integer of 1, 2, 3 or 4. [PROBLÈMES] Proposer une composition de résist contenant un colorant qui peut fournir un filtre de couleur supprimé dans la coloration à la région visible (400 à 730 nm). [MOYENS POUR RÉSOUDRE LES PROBLÈMES] L'invention concerne une composition de résist contenant un colorant, contenant un générateur de photoacide, comprenant un composé de sulfate d'oxime de type cyclohexadiène représenté par la formule [1], [1] dans laquelle R1, R2, R5, R6 et R7 représentent indépendammentun atome d'hydrogène, un atome d'halogène, CN, NO2, un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone, un groupe alkoxy ayant 1 à 5 atomes de carbone, ou similaires ; R3 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène, un groupe nitro, un groupe CN, un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 5 atomes de carbone, ou similaires ; R4 représente un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone, un groupe alkoxy ayant 1 à 5 atomes de carbone, un groupe haloalkyle ayant 1 à 5 atomes de carbone, un groupe haloalcoxy ayant 1 à 5 atomes de carbone, un groupe phényle qui peut être substitué par W, ou similaires ; et W représente un atome d'halogène, CN, un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone, ou similaires ; et n représente un entier de 1, 2, 3 ou 4.