DEVICE AND METHOD OF CHARACTERIZING SURFACES

• Main Authors: RONCIN, PHILIPPE, KHEMLICHE, HOCINE, ROUSSEAU, PATRICK
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 10.01.2008
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

Method of characterizing surfaces, comprising the steps of: directing a beam (2) of neutral molecules or atoms onto the surface (3) to be characterized; and detecting, sensitively, the position of the neutral atoms or molecules of said beam which are forward-scattered by said surface (3) to be characterized, the properties of said beam (2) being chosen in such a way that at least some of said forward-scattered neutral molecules or atoms are defracted by said surface to be characterized. Device for implementing such a method, comprising means (1) for generating such a beam (2) of neutral molecules or atoms and position-sensitive detection means (4) for detecting the neutral molecules or atoms forward-scattered by said surface (3) to be characterized. Procédé de caractérisation de surfaces comportant les étapes de :diriger un faisceau (2) d'atomes ou molécules neutres sur la surface (3) à caractériser; et détecter de manière sensible à la position les atomes ou molécules neutres dudit faisceau, diffusés vers l'avant par ladite surface (3) à caractériser; les propriétés dudit faisceau (2) étant choisies de telle manière qu'au moins une partie desdits atomes ou molécules neutres diffusés vers l'avant soit diffractée par ladite surface à caractériser. Dispositif pour la mise en oevre d'un tel procédé, comprenant des moyens (1) de génération d'un tel faisceau (2) d'atomes ou molécules neutres et des moyens de détection sensibles en position (4) pour détecter les atomes ou molécules neutres diffusés vers l'avant par ladite surface (3) à caractériser.