NEUTRAL PARTICLE BEAM GENERATING APPARATUS WITH INCREASED NEUTRAL PARTICLE FLUX

• Main Authors: LEE, BONG-JU, YOO, SUK-JAE
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 03.01.2008
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present invention relates to an apparatus for generating neutral particle beam with enhanced neutral particle flux. The apparatus of the present invention comprises a plasma discharging space inside which processing gases are converted into plasma ions through a plasma discharge, a metal plate which converts the plasma ions into neutral particles through collisions with the plasma ions, a plasma limiter which prevents the plasma ions and electrons from passing through and allows the neutral particles produced by collisions of the plasma ions with the metal plate to pass through, and a magnetron unit which applies magnetic field to the plasma discharging space, wherein the plasma discharging space is sandwiched between the metal plate and the plasma limiter, and the magnetron unit applies the magnetic field across the metal plate to the plasma discharging space to control plasma distribution. Preferably, the magnetron unit comprises a central pole and a side pole having a race track arrangement. The magnetic field applied across the metal plate increases density of the plasma ions near the metal plate. This improves the conversion efficiency of the plasma ions into the neutral particles to increase neutral particle flux. La présente invention concerne un appareil permettant de générer un faisceau de particules neutres avec un flux de particules neutres renforcé. L'appareil de la présente invention comprend un espace de décharge de plasma à l'intérieur duquel des gaz de traitement sont transformés en ions de plasma par une décharge de plasma, une plaque métallique qui transforme les ions de plasma en particules neutres par collisions avec ces ions de plasma, un limiteur de plasma qui empêche des ions et des électrons de plasma de passer à travers et permet aux particules neutres produites par les collisions des ions de plasma avec la plaque métallique de passer à travers, et une unité magnétron qui applique un champ magnétique à l'espace de décharge de plasma, cet espace de décharge de plasma étant pris en sandwich entre la plaque métallique et le limiteur de plasma, et l'unité magnétron applique le champ magnétique à travers la plaque métallique sur l'espace de décharge de plasma afin de commander la distribution du plasma. De préférence, l'unité magnétron comprend un pôle central et un pôle latéral possédant un agencement en anneau de vitesse. Le champ magnétique appliqué à travers la plaque métallique augmente la densité des ions de plasma près de cette plaque métallique. Ceci permet d'améliorer la conversion efficace des ions de plasma en particules neutres afin d'accroître le flux de particules neutres.