GROUP MANAGEMENT SYSTEM, PROCESS INFORMATION MANAGEMENT DEVICE, AND PROGRAM

• Main Authors: YAMAMOTO, TOMOKO, NARA, KOHEI, OBATA, MINORU
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 08.11.2007
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CALCULATING; COMPUTING; CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; CONTROLLING; COUNTING; DATA PROCESSING SYSTEMS OR METHODS, SPECIALLY ADAPTED FORADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL, SUPERVISORYOR FORECASTING PURPOSES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS; PHYSICS; REGULATING; SEMICONDUCTOR DEVICES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE,COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL, SUPERVISORY OR FORECASTINGPURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR

[PROBLEMS] The conventional group management system has a problem that it is impossible to acquire information unique to a plenty of control devices at once. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A process information management device includes: a communication setting information reception unit for receiving two or more communication setting information as setting information for communication with two or more control devices for controlling two or more processing devices performing a predetermined process on a substrate to be processed; a communication setting information accumulation unit for accumulating the two or more communication setting information; a control device-specific information reception unit for communicating with the two or more control devices by using the two or more communication setting information accumulated by the communication setting information accumulation unit and receiving control device-specific information from the respective control devices; and a control device-specific information accumulation unit for accumulating the control device-specific information received by the control device-specific information reception unit. Thus, it is possible to acquire information specific to a plenty of control devices all at once. Dans un système de gestion de groupe classique, il est impossible d'acquérir des informations spécifiques à une pluralité de dispositifs de commande en même temps. L'invention concerne un dispositif de gestion d'informations de traitement comprenant une unité de réception d'informations de paramètres de communication destinée à recevoir deux ou plusieurs informations de paramètres de communication en tant qu'informations de paramètres permettant d'établir une communication avec deux ou plusieurs dispositifs de commande de deux ou de plusieurs dispositifs de traitement exécutant un processus prédéterminé sur un substrat à traiter; une unité d'accumulation d'informations de paramètres de communication destinée à accumuler les deux ou les diverses informations de paramètres de communication; une unité de réception d'informations spécifiques à un dispositif de commande destinée à communiquer avec les deux ou les divers dispositifs de commande à l'aide des deux ou des diverses informations de paramètres de communication accumulées par l'unité d'accumulation d'informations de paramètres de communication, et à recevoir des informations spécifiques aux dispositifs de commande pour accumuler les informations spécifiques aux dispositifs de commande reçues par l'unité de réception d'informations spécifiques aux dispositifs de commande. Il est ainsi possible d'acquérir des informations spécifiques à une pluralité de dispositifs de commande en même temps.