SEMICONDUCTOR WAFER HANDLING AND TRANSPORT

• Main Authors: RITTER, RAYMOND, S, VAN DER MEULEN, PETER, KILEY, CHRISTOPHER, C, PANNESE, PATRICK, D, SCHAEFER, THOMAS, A
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 26.03.2009
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Modular wafer transport and handling facilities (6100) are combined in a variety o ways deliver greater levels of flexibility, utility, efficiency, and functionality in a vacuum semiconductor processing system. Various processing and other modules may be interconnected with tunnel-and-cart transportation systems (6150) to extend the distance and versatility of the vacuum environment. Other improvements such as bypass thermal adjusters, buffering aligners, batch processing, multifunction modules, low particle vents, cluster processing cells, and the like are incorporated to expand functionality and improve processing efficiency. Selon l'invention, on combine de façons variées des éléments modulaires de transport et de manipulation de plaquettes pour rendre plus flexible, plus utile, plus efficace et plus fonctionnel un système de traitement à vide de semi-conducteurs. On peut relier entre eux une variété de modules de traitement et d'autres modules par des systèmes de transport par tunnel et chariot pour augmenter la dimension et la flexibilité du système à vide. On incorpore également d'autres améliorations comme des systèmes d'ajustement thermiques de by-pass, des systèmes d'alignement pour sas d'attente, le traitement en lot, des modules multifonctions, des évents à faible taux de particules, des cellules de traitement en grappe, etc. pour augmenter la fonctionnalité et améliorer l'efficacité du traitement.