FLAME-PERFORATED APERTURE MASKS

• Main Authors: STROBEL, MARK A, GETSCHEL, JOEL A, BENCH, MICHAEL W, MCCLURE, DONALD J, TOKIE, JEFFREY H, NICHOLS, JONATHAN A
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 05.07.2007
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

An aperture mask is provided comprising an elongated web of flexible film having at least one deposition mask pattern formed in the film, wherein the deposition mask pattern defines deposition apertures that extend through the film that define at least a portion of one or more electronic circuit elements, and wherein deposition apertures are bounded by a rim, the rim being a portion of the mask which has a thickness greater than an average thickness for the mask. In another aspect, the present invention provides a method of making such an aperture mask comprising the steps of: providing a support surface, wherein the support surface includes a plurality of lowered portions; providing a burner, wherein the burner supports a flame, and wherein the flame includes a flame tip opposite the burner; contacting at least a portion of an elongated web of flexible film against the support surface; and heating the film with a flame from a burner to create apertures in the film in the areas covering the plurality of lowered portions. La présente invention concerne un masque à ouvertures comprenant une bande allongée de pellicule flexible comportant au moins un motif de masque de déposition tracé dans la pellicule, le motif de masque de déposition définissant des ouvertures de déposition qui s'étendent à travers la pellicule qui définissent au moins une portion d'un élément de circuit électronique ou plus, et les ouvertures de déposition étant délimitées par une couronne, la couronne étant une portion du masque qui présente une épaisseur supérieure à l'épaisseur moyenne du masque. Dans un autre aspect, la présente invention concerne un procédé de fabrication d'un tel masque à ouvertures dont les étapes consistent : à obtenir une surface de support, la surface de support comprenant une pluralité de portions abaissées ; à obtenir un brûleur, le brûleur supportant une flamme, et la flamme comprenant une extrémité de flamme opposée au brûleur ; à mettre au moins une portion d'une bande allongée de pellicule flexible en contact avec la surface de support ; et à chauffer la pellicule avec une flamme du brûleur pour créer des ouvertures dans le film dans les aires recouvrant la pluralité de portions abaissées.