REMOVABLE LINERS FOR CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEMS

• Main Authors: CHANDLER, ALAN MICHAEL, DESAI, TUSHAR, NAKOS, JAMES SPIROS, HAYFORD, ELLIS CRAIG, MONE NICHOLAS, JR
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 14.06.2007
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

An improved performance charged beam apparatus and method of improving the performance of charged beam apparatus are provided. The apparatus includes: a chamber having an interior surface; a pump port for evacuating the chamber; a substrate holder within the chamber; a charged particle beam within the chamber, the charged beam generated by a source and the charged particle beam striking the substrate; and one or more liners in contact with one or more different regions of the interior surface of the chamber, the liners preventing material generated by interaction of the charged beam and the substrate from coating the one or more different regions of the interior surface of the chamber. La présente invention concerne un appareil de faisceau de particules chargées et un procédé destiné à améliorer la performance de l'appareil de faisceau de particules chargées. L'appareil comprend : une chambre ayant une surface interne ; un orifice de pompe destiné à évacuer la chambre ; un support de substrat dans la chambre ; un faisceau de particules chargées dans la chambre, le faisceau chargé étant produit par une source et le faisceau de particules chargées frappant le substrat ; et un ou plusieurs revêtements en contact avec une ou plusieurs régions différentes de la surface interne de la chambre, les revêtements empêchant le matériau produit par l'interaction du faisceau chargé et le substrat de revêtir la ou les différentes régions de la surface interne de la chambre.