SYSTEMS AND METHODS FOR DETERMINATION OF ENDPOINT OF CHAMBER CLEANING PROCESSES

• Main Authors: BILODEAU, STEVEN, M, CHEN, ING-SHIN, NEUNER, JEFFREY, W, CHEN, PHILIP, S., H, HENDRIX, BRYAN, C, ROEDER, JEFFREY, F
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 12.04.2007
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Apparatus and method for determination of the endpoint of a cleaning process in which cleaning fluid is contacted with a structure to effect cleaning thereof. The cleaning process includes contacting a cleaning fluid with a structure to be cleaned and producing a cleaning effluent having a sensible heat thermal energy characteristic corresponding to extent of cleaning of the structure, disposing an object in the cleaning effluent that interacts with the cleaning effluent to produce a response indicative of the sensible heat thermal energy characteristic of the cleaning effluent, and monitoring such response to determine when the cleaning is completed. An endpointing algorithm and endpoint monitoring are also described, as well as endpoint monitor sensor elements that are useful to determine endpoint conditions in an efficient and reproduceable manner. L'invention concerne un appareil et un procédé de détermination de la fin d'un processus de nettoyage dans lequel un fluide de nettoyage vient en contact avec une structure pour la nettoyer. Le procédé de nettoyage consiste à mettre un fluide de nettoyage en contact avec une structure à nettoyer et à obtenir un effluent de nettoyage présentant une caractéristique d'énergie thermique de la chaleur sensible correspondant à l'étendue de nettoyage de la structure, à disposer un objet dans l'effluent de nettoyage interagissant avec l'effluent de nettoyage pour obtenir une réponse indiquant la caractéristique d'énergie thermique de la chaleur sensible de l'effluent de nettoyage, et à surveiller la réponse pour déterminer quand le nettoyage est terminé. L'invention concerne également un algorithme de fin de processus et un procédé de surveillance de fin de processus, ainsi que des capteurs de surveillance de fin de processus permettant de déterminer les conditions de fin de processus de manière efficace et reproductible.