METHOD AND SYSTEM FOR MEASURING SUB-SURFACE COMPOSITION OF A SAMPLE

• Main Authors: FINNEY, WILLIAM, F, M0RRIS, MICHAEL, D, SCHULMERICH, MATTHEW, V
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 12.04.2007
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

In a method for measuring a composition of a sample, an illumination surface area of the sample is illuminated using a light source, and light from a plurality of emitting surface areas of the sample is received, each emitting surface area at a different location, the received light scattered by the sample. A cumulative area of the illumination surface area is greater than a cumulative area of two emitting surface areas of the plurality of emitting surface areas. For each emitting surface area, spectral content information associated with received light corresponding to that emitting surface area is determined, and composition information corresponding to a sub-surface region of the sample is determined based on the determined spectral content information. Different shapes of illumination surface areas as well as the plurality of emitting surface areas may advantageously be utilized for various specimen or sample geometries or illumination sources. Cette invention concerne un procédé destiné à mesurer une composition d'un échantillon, consistant à éclairer une zone de surface d'éclairage de l'échantillon à l'aide d'une source lumineuse et à recevoir une lumière d'une pluralité de zones de surface d'émission de l'échantillon, chaque zone de surface d'émission se trouvant en un point différent et la lumière reçue étant diffusée par l'échantillon. Une aire cumulée de la zone de surface d'éclairage est supérieure à une aire cumulée de deux zones de surface d'émission parmi ces dernières. Pour chaque zone de surface d'émission, des informations de contenu spectral associées à la lumière reçue correspondant à cette zone sont déterminées, et des informations de composition correspondant à une zone sous-jacente de l'échantillon sont déterminées selon les informations de contenu spectral. Différentes formes de zones de surface d'éclairage et la pluralité de zones de surface d'émission peuvent être exploitées efficacement pour diverses géométries d'échantillon ou de spécimen ou sources lumineuses.